증착작업시증착기계 내부에 증발한 금속이 달라 붙는 것을 방지하기 위해 코팅해주는 BN이형제 “3M Boron Nitride Suspension WS”와 증착 보트를 동(Copper) 클램프에장착할 때클램프와 보트를 밀착시키고 전기가 더 잘 흐르도록 도와주는 흑연지“3M Graphite Tape”도 있습니다.
1) BN 이형제 물성자료
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제품 물성 |
3M Boron Nitride Suspension WS |
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색깔 |
백색
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고형분(BN) |
< 12% |
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액체상태 |
물(Water) |
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PH 값 |
6 |
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바인더 |
무기바인더 (inorganic binder) |
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밀도 |
1.03 ~
1.07 g/cm³ |
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점도 |
High viscosity |
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적용온도 |
대기
중 900 °C
진공 중 1,400 °C
불활성조건(Inert) 2,000 °C |
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Grating
test |
4B* |
2) 흑연테이프 스펙
①0.2mm(두께) x 15mm(폭) x 50M(길이)/Roll
②0.2mm(두께) x 20mm(폭) x 50M(길이)/Roll
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