ÁõÂøº¸Æ® (Evaporation Boat)
º¸·Ð³ªÀÌÆ®¶óÀ̵å(Boron Nitride)¿Í ƼŸ´½ µðº¸¶óÀ̵å(TitanumDiboride), ¾Ë·ç¹Ì´½ ³ªÀÌÆ®¶óÀ̵å(Aluminum Nitride) µîÀ» È¥ÇÕÇÏ¿©, °í¿Â °í¾Ð(2000¡ÆC, 300bar)¿¡¼ÇÖÇÁ·¹½º(Hot press) ¼Ò°á½ÃŲ Á¦Ç°À¸·Î, ¾Ë·ç¹Ì´½, ±¸¸®, Àº µîÀÇ ±Ý¼ÓÀ» ³ì¿©¼ OPP, PET Çʸ§µî À§¿¡ Áø°ø ÁõÂø½Ãų ¶§ »ç¿ëµÇ´Â ¹ß¿Ã¼(Heater), Áï ÁõÂø º¸Æ®ÀÔ´Ï´Ù(Evaporation Boat)
ÁÖ¿ëµµ´Â ½Äǰ ¿¬Æ÷Àå¿ë Çʸ§, ÀÏ¹Ý Äܵ§¼¿ë Çʸ§, ÇÏÀ̺긮µåÂ÷ Äܵ§¼Çʸ§ µîÀÇ ±Ý¼Ó ÁõÂø¿¡ »ç¿ëµÇ¸ç, Á¦Ç°ÀÇ ¼ººÐ, µðÀÚÀε µû¶ó 2¼ººÐº¸Æ®(DiMet), 3¼ººÐº¸Æ®(TriMet), ·¹ÀÌÁ®¸äº¸Æ®(LaserMet) µîÀÇ ´Ù¾çÇÑ Á¦Ç°ÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù. ¶Ç ÃÖ±Ù ³·Àº ÇÉ È¦°ú ³ôÀº ÁõÂøµÎ²²µî °íǰÁú ÁõÂøÇʸ§ÀÇ ¼ö¿ä¿¡ µû¶ó ´Ù¾çÇÑ ½ÅÁ¦Ç°À» °³¹ß ÁßÀÔ´Ï´Ù.
¶ÇÇÑ ÁõÂøÀÛ¾÷½Ã »ç¿ëµÇ´Â ¼Ò¸ðǰÀ¸·Î BN ÀÌÇüÁ¦, Èæ¿¬ ÀÌÇüÁ¦, Èæ¿¬Áö(Graphite tape) µîµµ °ø±ÞÇϰí ÀÖÀ¸¹Ç·Î ¿Ïº®ÇÑ ¼Ö·ç¼ÇÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.
<¹°¼º µ¥ÀÌÅÍ>

< 2¼ººÐ º¸Æ®¿Í 3¼ººÐ º¸Æ®ÀÇ Typeº° Àü±â ÀúÇ×Ä¡ ÀÚ·á >

<Á¦Ç°»çÁø>

|